観察試料に電子線を照射し、試料を構成する物質から発生する二次電子などを検出し、画像化します。微細な形状を拡大観察するための有力な方法です。倍率は数十倍から数万倍まで自由に設定できます。また、SEMに付属のエネルギー分散型X線分析装置（EDS）を併用することで、対象物の元素分析が可能です。

二次電子像（形態観察）

セメント水和物などの観察例

反射電子像（組成分析）

反射電子像は、平均原子番号が大きいものは明るく、平均原子番号が小さいものは暗く観察されるため、観察試料の化学組成の違いを反映した画像となります。

EDSによる定性分析、マッピング分析

EDSによる定性分析：エトリンガイト（分析位置：写真の×）

FAのEDSマッピング

FA粒子中にムライトの結晶が確認され、その周囲はSi（ケイ素）が多いことが確認されます。